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【cnzj5u】三氯氢硅小记

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资源大类:加工制造类
适用专业:机械加工技术
资源类型:doc
资源大小:243K
资源评价:★
资源扣点:1
整理日期:2019/1/14 19:02:05
下载统计:0
上传人:2355908741@qq.com



资源简介

三氯氢硅小记
问题一
多晶硅生产中,氮气的要求是怎么样的?
一般分1.2MPa,0.6MPa,0.3MPa三种,主要用于管道与设备的吹扫,置换,另外对与氯硅烷灭火有很好的效果。
主要看氧含量和露点,氧含量小于1000ppm,露点-40℃左右。

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